在物料表面沒有充足的自由水分時，熱量傳至濕物料后，物料就開始升溫并在其內部形成溫度梯度，使熱量從外部傳人內部，而濕分從物料內部向表面遷移。這種過程的機理因物料結構特征而異。主要為擴散、毛紉管流和由于干燥過程的收縮而產生的內部壓力。在臨界混含量出現至物料干燥到很低的最終濕含量時，內部濕分遷移成為控制因素，了解濕分的這種內部遷移是很重要的。一些外部可變量，如空氣用量，通常會提高表面蒸發速率，此時則降低了重要性。如物料允許在較高的溫度下停留較長的時間就有利此過程的進行。這可使物料內部溫度較高從而造成蒸汽壓梯度使濕分擴散到表面并會同時使液體濕分遷移。對內部條件控制的干燥設備過程，其過程的強化手段是有限的，在允許的情況下，減小物料的尺寸，以降低濕分（或汽體）的擴散阻力是很有效的。施加振動、脈沖、超聲波有利于內部水分的擴散。而由微波提供的能量則可有效地使內部水分汽化，此時如捕以對流或拙真空則有利于水蒸氣的排除。